国产光罩基板，路在何方? 日本对于光刻和光刻相关的各种设备和材料长期以来都占据重要市场地位，某些领域甚至可以说是支配地位，例如我们常说的光刻胶。除此之外，日本的光罩基板，特别是先进光刻所使用的光罩基板，在全球市场也几乎处于*地位，与ASML的先进光刻机相仿，一骑绝尘。光罩基板是何物？光...
